像素级光刻！科学家造出超高分辨率微型OLED：只有变形虫大小

来源：遵义亦安物流有限公司编辑：技术支持时间：2026-09-26 18:46:48

9月23日消息，像素学家型O形虫苏黎世联邦理工学院（ETH Zurich）的刻科研究团队近日宣布，已成功开发出一种利用芯片制造工艺生产微型OLED像素的造出新技术。

该技术借鉴了半导体行业通用的超高光刻法，通过紫外线直接在基板上打印出发光结构，分辨为超微型增强现实显示器的率微量产开辟了新路径。

长期以来，有变OLED的像素学家型O形虫微型化一直受限于材料兼容性问题，光刻工艺虽然精度极高，刻科但其使用的造出强力溶剂和化学试剂会迅速破坏脆弱的有机发光分子。

因此有机材料的超高活性很难在半导体制造的严苛化学环境中存活，这导致超高像素密度的分辨微缩显示器研发长期停滞。

为了攻克这一难题，率微瑞士研究人员设计了一种具备“核-壳”结构的有变特殊聚合物。在这种分子架构中，像素学家型O形虫发光核心被包裹在保护壳内，外层则布满了对紫外线敏感的化学链。

当紫外线照射时，分子外层会发生交联反应形成坚固结构，而内部的发光核心则在保护壳的遮蔽下免受化学侵蚀，从而实现了芯片级的加工精度。

在技术演示中，研究团队制作了一张彩色鹦鹉图像，其整体尺寸仅为300×430微米，大小与阿米巴原虫相当。该图像由250×350个微型像素组成，是目前已知通过光刻工艺制造的分辨率最高的全彩有机结构。

除了静态图像展示，团队还制造了一个尺寸为1×2.4毫米的可通电电控LOGO原型。与由外部光源激发的鹦鹉图像不同，该原型具备初步的电路控制能力，预示着真正的电驱动微型显示器已进入实验室验证阶段。